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1. 뉴파워프라즈마는 식각공정, 박망증착공정 장비에서 사용되는 플라즈마 관련 부품 제조사임.
식각공정= 필요한 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 제거하는 공정.
박막증착공정= 얇은 막을 웨이퍼 위에 만들어 전기적인 특성을 갖게 하는 공정.
2. 매출의 60%는 반도체, 40%는 디스플레이.
3. 기존사업은 RPG를 판매함.
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Remote Plasma Generator는 반도체 및 LCD 제조공정에서 증착공정 후 챔버 내부에 쌓이는 Si(실리콘)을 화학적으로 세정하기 위한 F(불소) RADICAL을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마를 발생시키는 제품입니다.
증착공정을 수행하는 챔버 내부에는 공정을 수행하면 할수록 그에 상응하는 Si 파우더(powder)가 챔버 내부 표면에 누적되어 쌓이는 것을 피할 수 없으며, 현재 챔버 세정기술은
챔버의 진공을 유지한 상태에서 원격 플라즈마 (Remote Plasma)를 통해 다량의 불소 (Fluorine) 라디칼 활성 종을 공급하여 식각하는 기술을 적용하고 있습니다.
- 출처: 뉴파워프라즈마 홈페이지
RPG (Remote Plasma Generator)는 플라스마를 발생시켜 실리콘을 화학적으로 세정합니다.
★4. 현재는 폴더블 스마트폰 부품 사업에 투자중.
-도우인시스 지분 7% 획득.
도우인시스: 삼성디스플레이가 지분 48% 소유, 초박형유리인 UTG 제작업체
초박형 유리 (UTG) = 폴더블 스마트폰의 핵심 부품.
-삼원진공 지분 75%획득
삼원진공: 도우인시스에 유리 강화 장비를 독점 공급하는 회사.
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